风采展示｜2023亦庄榜样候选人何茂栋：脚踏实地自主创新托起“中国芯”

　　NG体育编者按：以“亦心筑梦 榜样亦城”为主题的“2023亦庄榜样”选树活动目前正在火热进行中，大力选树在北京经开区建设发展过程中各行业各领域涌现出的先进典型和榜样人物。即日起，北京经开区融媒体中心相继推出“2023亦庄榜样”候选人风采展示，讲好踔厉奋发、感人至深的榜样故事，在全社会形成“关注榜样、传颂榜样、学习榜样、争做榜样”的良好氛围。本期刊发第四篇《何茂栋：脚踏实地，自主创新托起“中国芯”》。

　　集成电路是国家的战略性基础性产业，是当今信息技术产业高速发展的基础和原动力，集成电路制造领域关系着国计民生，在这个领域中依然有许多核心技术被国外垄断，制约我国集成电路制造的快速发展。“关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的”，只有脚踏实地设计开发自己的核心高端装备才是破解当前集成电路制造领域所面临困局的最优解。这个行业中，有一批人为突破关键核心技术，打破国外垄断而努力，何茂栋就是其中之一。

　　2002年8月，何茂栋从大学毕业，彼时的他刚进入北京京仪世纪电子股份有限公司，在太阳能行业从事硅单晶炉智能温控系统的开发，一干就是十一年，先后参与国家863项目“VB法大直径砷化镓单晶炉和退火炉研制”等多个重点项目的研究开发。开发出全自动单晶硅炉控制系统，实现晶体生长的一键式全自动控制，全自动系列单晶炉累计销售量达到1500台，为企业创造了12亿元的销售收入，实现了晶体生长设备的国产化。然而，已在行业领域小有成绩的他于2014年选择到集团旗下北京京仪自动化装备技术股份有限公司集成电路专用温控设备项目组，开始攻克芯片制造中一个环节——刻蚀控温技术。

　　“当时国外的温控设备处于垄断地位，而我国的集成电路专用温控设备一直停留在研发阶段，无法实现产品化，自主创新迫在眉睫。”何茂栋说：“我喜欢挑战，越难的东西越能激发起我作为技术人的那种‘斗志’。”虽然都是使用自动化技术，但控制对象变了难度也随之提升，国外对一些技术处于“保密状态”，那就撸起袖子自己干！一次次失败没有让他退缩反而越挫越勇，何茂栋没日没夜扎根在车间，反复实验、总结、对比……找出难以量产的关键环节，一起实验、研究、改进。通过不断优化系统算法，集成电路专用温控设备的控制温度精度从±1.0℃到±0.5℃甚至是±0.3℃，每一个微小提升都让他无比欣喜，更加充满动力。不知不觉中，他已经在这条技术攻坚之路上驶出很远。

　　期间，他带领技术团队开发出40多种型号的温控设备，所开发的温控设备用于集成电路制造刻蚀、物理气相沉积、化学气相沉积等关键工艺的温度控制，性能达到甚至超过国外同类设备，完全满足国内外主流的半导体主工艺设备需求，在集成电路制造领域得到批量应用，国内市场占有率第一，创造经济效益超过14亿元，成功地实现了国外进口高端温控设备的国产化替代，解决了集成电路专用温控设备长期被国外垄断的问题，促进“中国芯”的健康良性发展。

　　“我不觉得自己有天赋，我觉得我只是勤劳加上一种执着。”受父亲影响，何茂栋不驰于空想，不骛于虚声，一旦选择做什么事就会踏实付出。为更好地服务技术研发，精益求精，工作之余他先后到北京航空航天大学、天津大学进行硕士、博士深造，提升理论水平和业务能力。他发表论文7篇，获授权发明专利46项、实用新型专利36项，软件著作权25项，获得“亦麒麟”科技创新领军人才、北京市劳动模范，全国五一劳动奖章、中国自动化领域年度人物等荣誉称号……从一线技术人员一路成长为行业领军人才。如今，何茂栋已经成立了自己的工作室，成为领域带头人。

　　“独行快，众行远。前期攻克某项技术由0-1的过程中，可能确实需要由某个人挑头，但越往后做大的过程中，靠一个人的力量就远远不够了，需要整个团队的紧密合作。”何茂栋说，集成电路整个行业亦是如此，自己公司虽然做到了行业领先，打破国外垄断，但温控设备只是集成电路行业一个细分领域，整个集成电路行业包含很多细分领域，只有各细分领域都强大起来，整个集成电路行业才能得以真正发展。像木桶一样，它盛水的高度取决于其中最低的那块木板，哪一块短了都不行。他坚信，在无数像他一样的“集成电路人”的努力之下，“中国芯”的实现指日可待，抱有这样的信念，他说，不管多难都会坚持下去，也希望更多人加入集成电路行业来发光发热。